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아래와 같이 콜로퀴움을 개최하오니 많이 참석해 주시기 바랍니다.

4시 20분부터 제1과학관 31214 e+강의실에서 다과를 준비하오니 많은 참석 부탁드립니다.



아 래


Title: 플라즈마를 이용한 표면처리 기술


Speaker: 조  용   기  박사님  (한국생산기술연구원)


Date & Time: May 4(Wed.) 2016, 4:30 PM


Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


Abstract: 습식과 건식방식의 표면처리는 반도체, 자동차, 전기전자, 기계부품의 기능 구현 및 내구성 향상에 없어서는 안 되는 요소 기술이다. 이중 건식방법의 표면처리는 열에너지나 플라즈마에너지를 활용하는 기술로 반도체의 배선, 태양전지, 자동차 엔진부품, 금형 등에 금속이나 세라믹 박막의 형성기술로 적용되고 있다. 플라즈마는 태양과 같은 높은 에너지상태에서부터 한정된 공간 내에서 발생되는 낮은 에너지 상태의 저온 플라즈마까지 밀도와 에너지 상태에 따라 다양하다. 표면처리기술에 적용되고 있는 플라즈마의 형태는 전자의 온도는 높으나 기체의 온도는 낮은 저온 플라즈마로서 한정된 영역 내에서 부분적으로 입자가 이온화된 상태이다. 저온 플라즈마를 만들기 위해서는 압력을 낮출 수 있는 감압장치가 필요하고, 감압되어 적은 수의 기체를 전자와 충돌시킴으로서 기체의 여기 및 이온화를 유도할 수 있다. 저온 플라즈마를 이용하는 기술로 스퍼터링법이나 이온플레이팅법이 있으며 전자충돌을 통한 여기 및 이온화를 유도하고 반응에너지를 낮게 하는 화학기상증착법과 확산침투법이 있다. 또한 유전체를 이용한 대기압 방전이나 전해질 용액 속에 아크 플라즈마를 만드는 기술 등 다양한 방법이 있다.

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공지 2022학년도 1학기 콜로퀴움 일정 2022.01.10 2209
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 813494
468 <May. 25(Wed.) 4:30 PM> Functional Materials @ Nanoscale: Electronics, Energy and ‘Green’Healthcare Applications 2016.05.23 55283
467 <May. 18(Wed.) 4:30 PM> Search for Hidden Neutrinos at the High Energy Frontier 2016.05.23 49390
466 <May. 11(Wed.) 4:30 PM> In-situ x-ray studies of functional oxides for energy systems 2016.05.23 58410
» <May. 4(Wed.) 4:30 PM> 플라즈마를 이용한 표면처리 기술 2016.04.27 49536
464 <May.27(Fri.) 10:00> Towards Magnetic 2D Materials 2016.04.27 48079
463 <April 25(Mon) 16:30> Neutron Recoil Polarization in Low‐energy Photodisintegration of the Deuteron 2016.04.25 48672
462 <April. 27(Wed.) 4:30 PM> 로봇과 함께 살아갈 미래 2016.04.22 50021
461 <4/6(Wed.) 1pm> Results from DM-Ice17 2016.04.05 51390
460 <April. 6(Wed.) 4:30 PM> Quantitative Determination of High Tc Superconductivity Mechanism 2016.03.31 70033
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458 <March.24(Thu) 14:00> A new boson and muon g-2 2016.03.17 52222
457 <March. 23(Wed.) 4:30 PM> 조선시대의 천문시계 2016.03.17 51961
456 <March.18(Fri) 11:00> High Pressure Synthesis and Characterization of Non-Oxide Superconductors 2016.03.14 56744
455 <March. 16(Wed.) 4:30 PM> 초고속반도체의 블랙다이아몬드™,low-k 2016.03.10 58446
454 <March. 9(Wed.) 4:30 PM>가치 있는 대학 생활이란 무엇인가? file 2016.03.07 51767
453 <March 8(Tue) 18:00> Unsolved puzzles of Gamma-Ray Bursts 2016.03.03 54241
452 2016학년도 1학기 콜로퀴움 일정 2016.02.03 127947
451 <Dec.30(Wed) 16:30> Some basics about the thermoelectricity; the semi-classical Boltzmann transport approach 2015.12.24 57293
450 <Dec. 9(Wed.) 4:30 PM>Direct detection of dark matter at Underground 2015.12.03 63950
449 <Dec. 2(Wed.) 4:30 PM> Next-generation solar cells for high photo-conversion efficiency 2015.11.25 75590