logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 새소식

교육전문신문 <베리타스 알파>  2017년 07월 06일에 실린 기사 발췌

출처: http://www.veritas-a.com/news/articleView.html?idxno=88463


[베리타스알파=김하연 기자] 성균관대는 물리학과 정동근 교수연구팀의 '기계적 고강도 플라즈마 저유전상수 박막 및 그 제조방법' 특허를 국내 대기업에 기술 이전했다고 6일 밝혔다.

특허 내용은 외부 회로와의 연결을 위한 반도체 배선 공정에서 배선 간 절연 물질로 이용되는 초저유전 상수 물질을 기존의 전구체와는 다른 구조를 가진 전구체를 이용하여 기계적 강도는 우수하면서도 좀 더 낮은 유전상수를 갖는 박막을 개발 한 것이다.

반도체 공정에서 일반적으로 사용되는 배선 간에 절연물질로 'SiO2'가 이용되는데 유전상수는 4.0 수준이다. 이를 3.0 정도로 낮추게 되면 신호의 딜레이가 25%정도 감소하는 것으로 알려져 있다. 연구팀이 연구하는 SiOCH 박막은 2.0 초반 수준까지 도달해 있다.

반도체 공정에서 요구하는 기본적인 기계적 강도를 만족하면서도 낮은 유전상수를 갖는 소재의 개발은 매우 난해한 기술로 연구팀의 기술은 나날이 세밀해져가는 반도체 공정에서 증가 할 수밖에 없는 신호 딜레이를 개선, 반도체 소자의 성능향상에 이바지 할 것으로 기대됐다.


번호 제목 글쓴이 날짜 조회 수
46 [SKKU Research Stories] Nanoscale 강대준 교수 연구팀; 단일 실리콘 나노 와이어 축 상을 따라 초 정밀 도핑 제어를 통해 형성된 n-형 및 p-형 반도체 채널 영역을 이용한 초 전력 소모 전계 트렌지스터 기반 상보형 인버터 제작 연구 물리학과사무실 2016.09.02 14137
45 [세계일보 2020.04.01] [사이언스프리즘] 여행 제한만으로 전염병 못 막는 이유 물리학과사무실 2020.04.03 14058
44 [경향신문 2020.07.16] [김범준의 옆집물리학] 뾰족 물리학과사무실 2020.07.20 13958
43 [성균웹진 20160829] 세상과 소통하고 세상을 변화시키는 카르스텐 로트 교수 물리학과사무실 2016.09.02 13870
42 [경향신문 2019.05.22] [김범준의 옆집물리학]떨림 물리학과사무실 2019.05.23 13609
41 [대학저널 2018.01.24] 학부생 백지민 군 졸업논문 "Current Applied Physics"에 최종 게재 승인 file 물리학과사무실 2018.01.16 13513
40 [SKKU Research Stories 2017.07.24] 물리학과 김범준 교수, 키 큰 사람이 날씬하다! file 물리학과사무실 2017.07.24 13149
39 [연합뉴스 2019.09.23] 제15회 경암상 수상자 이근· 이영희· 황철상·석상일 물리학과사무실 2019.09.24 12953
38 [머니S 2019.09.02] [청계광장] 엔트로피와 진화 물리학과사무실 2019.09.03 12762
37 [경향신문 2019.10.09] [김범준의 옆집물리학]대칭 물리학과사무실 2019.10.11 12485
36 [경향신문 2018.06.29] 성균관대 물리학과 연구팀, 4차원 실험 공간 처음 만들었다 물리학과사무실 2018.06.29 12421
35 [Horizon- 한정훈 교수님] 양자 물질의 역사 [3]: 파울리 호텔 (동성 혼숙은 안 돼요!) 물리학과사무실 2019.05.08 12366
34 [경향신문 2020.04.22] [김범준의 옆집물리학]사이와 거리 물리학과사무실 2020.04.28 12329
33 [머니S 2020.03.03] 김범준 교수 / [청계광장] 케플러의 세 법칙 물리학과사무실 2020.03.03 11656
32 [서울신문 2020.01.08] [2020 원더키디] 물리학자 김범준 성균관대 교수 물리학과사무실 2020.01.15 11134
31 [세계일보 2020.12.09] [사이언스프리즘] 황제펭귄의 추위 대처법 물리학과사무실 2020.12.14 10725
30 [문화일보 2020.11.24] 김범준 교수 / 물리학만으론 사회현상 이해 한계… ‘애정 어린’ 미시적 시선 함께해야 물리학과사무실 2020.11.27 10334
29 [Horizon- 한정훈 교수님] 양자물질의 역사[1]: 최초의 물질 이론 -2019년 2월 26일 물리학과사무실 2019.02.27 10068
28 [주간조선 2019.10.28] 응집물리학자 한정훈 성균관대 교수 물리학과사무실 2019.11.27 9065
27 [경향신문 2020.01.01] [김범준의 옆집물리학] 허공 물리학과사무실 2020.01.03 9020