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이번 학기 콜로퀴움은 코로나19 오미크론 변이 급속 확산 및 정부 지침에 따라 온-오프 하이브리드(오프라인+Real Time Streaming)으로 운영될 예정입니다.

여섯번째 강연에는 한양대학교의 정진욱 교수님을 모시고 콜로퀴움을 개최하오니, 학과 구성원 여러분의 많은 참여를 부탁 드립니다.

코로나19 확산방지를 위해 다과는 제공하지 않습니다.


                                       아            래


1. Title: 반도체 공정용 플라즈마 물리


2. Speaker: 정  진  욱  교수님 (한양대학교)


3. Date & Time: Apr. 20(Wed.) 2022.  4:30 PM

 
4. Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


5. Abstract: 물질의 네번째 상태인 플라즈마에 대한 기초 특성과 응용 분야를 소개하고자 한다. 자연계에서 관찰되는 플라즈마 상태와 플라즈마 이해 역사를 이해한다. 플라즈마는 특히 반도체 제조 공정에 많이 응용이 되고 있다. 플라즈마 식각/증착 기술의 기초 원리를 소개하고, 향후 반도체 공정용 플라즈마 응용 방향을 전망하고자 한다.