logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 세미나

아래와 같이 콜로퀴움을 개최하오니 많이 참석해 주시기 바랍니다.


4시 20분부터 제1과학관 31214 e+강의실에서 간단한 다과를 제공합니다.


아 래


Title: AlGaN/GaN HEMT 센서플랫폼 (KANCSensGaNTM) 기술 소개


Speaker: 박   경   호  박사님 (한국나노기술원)


Date & Time: Oct. 18. (Wed.) 2017, 4:30 PM


Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


Abstract: 청색 및 자외선 발광소자의 재료로 사용되는 질화갈륨(GaN)은 그 우수한 물성특성으로 인하여 발광소자 뿐 아니라 전자소자의 재료로도 크게 활용이 되고 있다. 특히 AlGaN/GaN HEMT (High Electron Mobility Transistor) 는 높은 전자이동도, 높은 전자밀도, 높은 절연파괴 전압 및 넓은 밴드갭 등의 우수한 물성특성으로 고 주파수 RF 소자 및 고 전력 반도체 소자자분야에서 크게 각광을 받고 있다. 이러한 AlGaN/GaN HEMT 구조는 높은 전자밀도를 갖는 2차원 전자가스 채널이 소자 표면에 매우 가깝게 위치하고, 소자 표면의 흡착물에 민감하게 반응하므로 감도가 높고 극한환경에서 사용이 가능한 센서 응용분야에 매우 유망하다. 한국나노기술원에서는 국내 반도체 기반 센서 연구지원을 위하여 이러한 AlGaN/GaN HEMT 구조 센서 플랫폼을 개발 보급하고 있다.


AlGaN/GaN HEMT 이종구조 에피탁시 박막은 MOCVD 방법으로 4인치 C (0001) 사파이어 기판상에서 성장되었으며, 1,900 cm2/Vs 이상의 전자 이동도, 310 Ω/□ 이하의 면 저항 및 1 × 1013 cm-2이상의 전자 밀도를 갖는 2DEG 특성이 얻어졌다. 우리는 가스 및 화학 센서 응용을 위해 다양한 형태의 HEMT 구조를 설계하고 제조하였으며, 제작된 센서 플랫폼의 유용성을 검증하기 위하여 HEMT 구조의 게이트 영역에 10nm 두께의 Pt 층을 검지물질로 사용하여 수소 감지 성능을 테스트 하였다. 실온에서 N2 4 % H2 노출시키기 전후에 I-V 특성을 측정 하였으며, 드레인 바이어스는 1V 고정되었고 게이트 바이어스는 -4V에서 2V까지 변화시켰을 때, 6um 게이트 길이를 갖는 디바이스는 -3.1V 게이트 바이어스에서 1.1x106 높은 상대 전류 변화 (감도) 나타냈으며, 실온에서 500 ℃ 까지 수소 가스를 성공적으로 검출 하였다. 본 발표에서는 AlGaN/GaN HEMT 센서의 동작원리, HEMT 이종 구조의 성장방법 및 성능, HEMT 센서제조 공정 및 센서의 감지 특성을 소개하고자 한다.


 



번호 제목 날짜 조회 수
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 1078423
69 <May. 4(Wed.) 4:30 PM> 플라즈마를 이용한 표면처리 기술 2016.04.27 54515
68 <Dec. 14(Wed.) 4:30 PM>중력과 양자 얽힘 (tentative) 2016.12.07 54313
67 <Nov. 9(Wed.) 4:30 PM> 20-nm resolution imaging of brain circuitry by next-generation expansion microscopy 2016.11.02 54280
66 <Mar. 15(Wed.) 4:30 PM>반도체 Fab Process와 물리학 전공자 2017.03.14 54259
65 <May. 18(Wed.) 4:30 PM> Search for Hidden Neutrinos at the High Energy Frontier 2016.05.23 54219
64 <June 1(Wed.) 4:30 PM> 중력으로 강한 핵력 이해하기 2016.05.26 53973
» <Oct. 18(Wed.) 4:30 PM> AlGaN/GaN HEMT 센서플랫폼 (KANCSensGaNTM) 기술 소개 file 2017.10.11 53580
62 <May 24(Wed.) 4:30 PM>누구나 과학을 통찰하는 법 2017.05.17 52260
61 <May 31(Wed.) 4:30 PM>중력파, 새로운 천문학과 물리학의 시작 2017.05.24 51763
60 <Dec.11(Wed.)>데이터 과학으로서의 물리학. 그리고 금융투자업 2019.12.04 51382
59 <April. 12 (Wed.) 4:30 PM>디랙물질을 통해서 본 강상관 계의 양자 홀로그래피적 조명: 2017.04.05 51226
58 <June 7(Wed.) 4:30 PM> 물리학으로 보는 인간과 사회 2017.05.31 51132
57 <Oct. 11(Wed.) 4:30 PM> Graphene Membrane for Imaging Molecular Assembly and Dynamics 2017.09.27 50760
56 <Mar.10(Wed.)> Dark matter searches in neutrino detectors 2021.03.04 50162
55 <April.11(Wed.) 4:30 PM>History of Superconductivity and its Future 2018.04.04 49548
54 <April.10(Wed.)> 자성 반데르발스 물질 발견과 전망(Discovery and Perspective of magnetic van der Waals materials) 2019.04.04 48201
53 <Sep. 13(Wed.) 4:30 PM> 우주론 100년, 어디로 가고 있는가? 2017.09.06 47683
52 <Sep. 20(Wed.) 4:30 PM> 양자이론에 대한 `서울해석` 시도하기 2017.09.13 47262
51 <Sep. 6(Wed.) 4:30 PM> Particles in the Universe 2017.09.01 47033
50 <April.3(Wed.)> 전자구조계산을 이용한 새로운 양자물질 연구 2019.03.27 46751