logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 세미나

아래와 같이 콜로퀴움을 개최하오니 많이 참석해 주시기 바랍니다.

4시 20분부터 제1과학관 31214 e+강의실에서 다과를 준비하오니 많은 참석 부탁드립니다.



아 래


Title: 플라즈마를 이용한 표면처리 기술


Speaker: 조  용   기  박사님  (한국생산기술연구원)


Date & Time: May 4(Wed.) 2016, 4:30 PM


Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


Abstract: 습식과 건식방식의 표면처리는 반도체, 자동차, 전기전자, 기계부품의 기능 구현 및 내구성 향상에 없어서는 안 되는 요소 기술이다. 이중 건식방법의 표면처리는 열에너지나 플라즈마에너지를 활용하는 기술로 반도체의 배선, 태양전지, 자동차 엔진부품, 금형 등에 금속이나 세라믹 박막의 형성기술로 적용되고 있다. 플라즈마는 태양과 같은 높은 에너지상태에서부터 한정된 공간 내에서 발생되는 낮은 에너지 상태의 저온 플라즈마까지 밀도와 에너지 상태에 따라 다양하다. 표면처리기술에 적용되고 있는 플라즈마의 형태는 전자의 온도는 높으나 기체의 온도는 낮은 저온 플라즈마로서 한정된 영역 내에서 부분적으로 입자가 이온화된 상태이다. 저온 플라즈마를 만들기 위해서는 압력을 낮출 수 있는 감압장치가 필요하고, 감압되어 적은 수의 기체를 전자와 충돌시킴으로서 기체의 여기 및 이온화를 유도할 수 있다. 저온 플라즈마를 이용하는 기술로 스퍼터링법이나 이온플레이팅법이 있으며 전자충돌을 통한 여기 및 이온화를 유도하고 반응에너지를 낮게 하는 화학기상증착법과 확산침투법이 있다. 또한 유전체를 이용한 대기압 방전이나 전해질 용액 속에 아크 플라즈마를 만드는 기술 등 다양한 방법이 있다.

번호 제목 날짜 조회 수
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 1089697
276 <May 10(Wed.) 4:30 PM>Trend and beyond of semiconductor technology (반도체 미세화 및 신기술 동향) 2017.05.04 56591
275 <April. 12 (Wed.) 4:30 PM>디랙물질을 통해서 본 강상관 계의 양자 홀로그래피적 조명: 2017.04.05 51765
274 <April. 5 (Wed.) 4:30 PM>Majorana quasiparticles emergent in Kitaev quantum magnets 2017.03.31 84800
273 <Mar. 29(Wed.) 4:30 PM>Search for New Elements 2017.03.22 105581
272 <Mar. 22(Wed.) 4:30 PM>Symmetry and topology in the electronic structure of solids 2017.03.15 57232
271 <Mar. 15(Wed.) 4:30 PM>반도체 Fab Process와 물리학 전공자 2017.03.14 54702
270 2017학년도 1학기 콜로퀴움 일정 2017.01.05 332399
269 <Dec. 14(Wed.) 4:30 PM>중력과 양자 얽힘 (tentative) 2016.12.07 54835
268 <Dec. 7(Wed.) 4:30 PM>Mechanotransduction of cells in vitro(세포기능의 역학적 조절) 2016.11.30 85077
267 <Nov. 30(Wed.) 4:30 PM> Chiral solitons for topological informatics 2016.11.23 82577
266 <Nov. 23(Wed.) 4:30 PM> Dry (Plasma) etch process in Semiconductor Device 2016.11.16 63137
265 <Nov. 16(Wed.) 4:30 PM> Two-dimensional Chiral Materials and Topological Insulators 2016.11.10 204441
264 <Nov. 9(Wed.) 4:30 PM> 20-nm resolution imaging of brain circuitry by next-generation expansion microscopy 2016.11.02 54704
263 <Nov. 2(Wed.) 4:30 PM> 현대 우주론 이론과 관찰 (Theories and observations of modern cosmology) 2016.10.19 56108
262 <Oct. 19(Wed.) 10:00 AM> Hyper-Kamiokande project -The future of neutrino physics in Japan 2016.10.12 63989
261 <Oct. 12(Wed.) 4:30 PM> Silk as a biocompatible optical material 2016.10.05 66813
260 <Oct. 5(Wed.) 4:30 PM> 국제원자력기구 (IAEA)와 핵데이터 2016.09.22 63911
259 <Sep. 21(Wed.) 4:30 PM>광자질량의 물리학 2016.09.19 56750
258 <Sep. 7(Wed.) 4:30 PM>Manipulating spins in topological insulators 2016.09.02 90939
257 2016학년도 2학기 콜로퀴움 일정 2016.08.02 97045