logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 세미나

이번 학기 콜로퀴움은 코로나19 오미크론 변이 급속 확산 및 정부 지침에 따라 온-오프 하이브리드(오프라인+Real Time Streaming)으로 운영될 예정입니다.

여섯번째 강연에는 한양대학교의 정진욱 교수님을 모시고 콜로퀴움을 개최하오니, 학과 구성원 여러분의 많은 참여를 부탁 드립니다.

코로나19 확산방지를 위해 다과는 제공하지 않습니다.


                                       아            래


1. Title: 반도체 공정용 플라즈마 물리


2. Speaker: 정  진  욱  교수님 (한양대학교)


3. Date & Time: Apr. 20(Wed.) 2022.  4:30 PM

 
4. Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


5. Abstract: 물질의 네번째 상태인 플라즈마에 대한 기초 특성과 응용 분야를 소개하고자 한다. 자연계에서 관찰되는 플라즈마 상태와 플라즈마 이해 역사를 이해한다. 플라즈마는 특히 반도체 제조 공정에 많이 응용이 되고 있다. 플라즈마 식각/증착 기술의 기초 원리를 소개하고, 향후 반도체 공정용 플라즈마 응용 방향을 전망하고자 한다. 

번호 제목 날짜 조회 수
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 1060592
681 2019학년도 2학기 콜로퀴움 일정 2019.07.17 425147
680 <12/3> Magnetic couplings, optical spectra, and spin-orbit exciton in 5d Mott insulator Sr2IrO4 2012.11.26 367119
679 <Mar.3(Wed.)>Scaling laws in Natural Language Processing 2021.02.25 325703
678 2017학년도 1학기 콜로퀴움 일정 2017.01.05 286981
677 <10/25> Wave properties of dipole-exchange spin waves in confined magnetic thin films 2006.10.25 275560
676 <5/16> 물리학자가 바라 본 단백질: 왜, 어떻게 연구하는가? 2012.05.10 255457
675 2020학년도 1학기 콜로퀴움 일정 2020.01.31 253547
674 BK 석학초청 특별세미나 - Frustration and dimensional reduction in multi-orbital systems 2011.10.28 249249
673 <6/11> Advanced Physiological Optics and Its Ophthalmic Applications 2014.05.28 239527
672 <3/14>Adaptive Optics for the Human Eye and Ophthalmic Applications 2008.03.12 237990
671 <11/6> Graphene plasmon and Plasmonics 2013.10.31 237499
670 <8/30(Wed.)10:30>​Technology convergence and applications of Large-Area Electronics, e-Textiles, bio-sensors and bio-electronics 2017.08.29 232521
669 <6/17> Oscillating Fuzzy Sphere and M5/anti M5 configurations in ABJM model 2009.06.16 231635
668 <12/21> Special Seminar by Professor Ilya Vekhter 2010.11.30 230179
667 <11/5(화)> 특별세미나 개최 안내 2013.11.01 225568
666 <Jan.14(Thu.)>Oxygen sponge effects for epitaxial manganite thin film design 2021.01.11 223002
665 <June.12(Wed.)> Ribocomputing: Cellular Logic Computation using RNA Devices file 2019.06.07 219721
664 <5/16(토)> 세미나 개최 안내 2015.05.18 208581
663 <9/20> Time-reversal anomaly in Josephson effect involving Majorana fermions 2012.09.20 201173