logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 세미나

아래와 같이 콜로퀴움을 개최하오니 많이 참석해 주시기 바랍니다. .


4시 20분부터 제1과학관 31214 e+강의실에서 간단한 다과를 제공합니다.


아 래



Title: Dry (Plasma) etch process in Semiconductor Device (반도체 디바이스에 쓰이는 플라즈마 에칭공정)


Speaker: 김   이    준  박사님 (Lam Research, '91동문)


Date & Time: Nov. 23(Wed.) 2016, 4:30 PM


Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


Abstract: 트랜지스터가 발명되면서 인류는 컴퓨터 시대라는 새로운 시대를 맞이하게 되었다 컴퓨터 기술은 점점 더 발전하고 정교해져 이제 우리는 통신과 컴퓨터가 융합되는 시대를 살아가고 있다 이러한 모바일(mobile) 컴퓨터 시대의 도래는 그 이면에 초미세 반도체 가공 기술이 있었기네 가능한 것이었다.
현재 필수품이 되고 있는 스마트폰의 AP역시 초미세반도체 가공 기술의 산물이다. 머리카락 굵기보다 월씬 얇은 (~1/1000) 면적안에 회로와 구조를 만드는 기술은 다음과 같다. 먼저 사진 현상 기술인 리소그래픽을 이용하여 형상을 찍고 각종 증착 기술과 식각 (에칭) 기술을 적용하여 Si wafer위에 대량으로 반도체 칩을 가공하는 것이다.
실질적으로 Si wafer위에 회로를 쌓고 깎는 기술의 상당부분은 물질의 네번째 상태인 플라즈마 (Plasma)를 사용하고 있다. 초미세 반도체 소자를 반드는데 있어서 플라즈마 기술이 광범위하게 사용되는데, 이 강의에서는 특히 플라즈마에 대하여 간단하게 알아보고 플라즈마를 이용한 식각기술에 대하여 알아본다.

번호 제목 날짜 조회 수
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 1032748
» <Nov. 23(Wed.) 4:30 PM> Dry (Plasma) etch process in Semiconductor Device 2016.11.16 59688
265 <Nov. 16(Wed.) 4:30 PM> Two-dimensional Chiral Materials and Topological Insulators 2016.11.10 146706
264 <Nov. 9(Wed.) 4:30 PM> 20-nm resolution imaging of brain circuitry by next-generation expansion microscopy 2016.11.02 52777
263 <Nov. 2(Wed.) 4:30 PM> 현대 우주론 이론과 관찰 (Theories and observations of modern cosmology) 2016.10.19 53633
262 <Oct. 19(Wed.) 10:00 AM> Hyper-Kamiokande project -The future of neutrino physics in Japan 2016.10.12 57253
261 <Oct. 12(Wed.) 4:30 PM> Silk as a biocompatible optical material 2016.10.05 62471
260 <Oct. 5(Wed.) 4:30 PM> 국제원자력기구 (IAEA)와 핵데이터 2016.09.22 58846
259 <Sep. 21(Wed.) 4:30 PM>광자질량의 물리학 2016.09.19 55021
258 <Sep. 7(Wed.) 4:30 PM>Manipulating spins in topological insulators 2016.09.02 77837
257 2016학년도 2학기 콜로퀴움 일정 2016.08.02 94091
256 <June 8(Wed.) 4:30 PM> 세계와 우리나라 우주개발 도전 2016.06.01 53564
255 <June 1(Wed.) 4:30 PM> 중력으로 강한 핵력 이해하기 2016.05.26 52701
254 <May. 25(Wed.) 4:30 PM> Functional Materials @ Nanoscale: Electronics, Energy and ‘Green’Healthcare Applications 2016.05.23 164641
253 <May. 18(Wed.) 4:30 PM> Search for Hidden Neutrinos at the High Energy Frontier 2016.05.23 52927
252 <May. 11(Wed.) 4:30 PM> In-situ x-ray studies of functional oxides for energy systems 2016.05.23 65178
251 <May. 4(Wed.) 4:30 PM> 플라즈마를 이용한 표면처리 기술 2016.04.27 53304
250 <April. 27(Wed.) 4:30 PM> 로봇과 함께 살아갈 미래 2016.04.22 53322
249 <April. 6(Wed.) 4:30 PM> Quantitative Determination of High Tc Superconductivity Mechanism 2016.03.31 115092
248 <March. 30(Wed.) 4:30 PM> Tetraneutron (four-neutron nucleus) 2016.03.24 66687
247 <March. 23(Wed.) 4:30 PM> 조선시대의 천문시계 2016.03.17 55617