logo

korean english

게시판

Home > 게시판 > 세미나

이번 학기 콜로퀴움은 코로나19 오미크론 변이 급속 확산 및 정부 지침에 따라 온-오프 하이브리드(오프라인+Real Time Streaming)으로 운영될 예정입니다.

여섯번째 강연에는 한양대학교의 정진욱 교수님을 모시고 콜로퀴움을 개최하오니, 학과 구성원 여러분의 많은 참여를 부탁 드립니다.

코로나19 확산방지를 위해 다과는 제공하지 않습니다.


                                       아            래


1. Title: 반도체 공정용 플라즈마 물리


2. Speaker: 정  진  욱  교수님 (한양대학교)


3. Date & Time: Apr. 20(Wed.) 2022.  4:30 PM

 
4. Place: Natural Science 1,  Room No. 31214


5. Abstract: 물질의 네번째 상태인 플라즈마에 대한 기초 특성과 응용 분야를 소개하고자 한다. 자연계에서 관찰되는 플라즈마 상태와 플라즈마 이해 역사를 이해한다. 플라즈마는 특히 반도체 제조 공정에 많이 응용이 되고 있다. 플라즈마 식각/증착 기술의 기초 원리를 소개하고, 향후 반도체 공정용 플라즈마 응용 방향을 전망하고자 한다. 

번호 제목 날짜 조회 수
공지 <12/8(Thu.) 11:00am>노벨상 소개 강연 - 2016년 노벨 물리학상: 위상 응집 물리의 탄생 2016.11.28 1059585
386 2022학년도 2학기 콜로퀴움 일정 2022.06.22 803
385 <May 18(Wed.)>Magnetoresistance and Hall effects of Fe5Sn3 single crystals 2022.05.12 1163
384 <Apr. 27(Wed.)> I) A few first questions by me. II) ‘Topotactic resistance switching RAM’의 최초 발견 2022.04.20 1169
383 <May 11(Wed.)>Key Nuclear Experimental Studies to Find the Origin of Elements 2022.05.04 1234
382 <May 4(Wed.)>Recent progress in the study of topological phases of matter 2022.04.27 1242
» <Apr. 20(Wed.)> 반도체 공정용 플라즈마 물리 2022.04.14 1275
380 <Mar. 30(Wed.)> Two-dimensional Semiconductors and their applications 2022.03.23 1629
379 <Mar. 16(Wed.)> 현세대/차세대 이차전지 기술 동향 및 전망 2022.03.02 1671
378 <Apr. 6(Wed.)> Holographic Flat Panel Displays 2022.03.30 1801
377 <Mar. 2(Wed.)>Introduction to high-energy nuclear physics 2022.02.24 2135
376 <Mar. 23(Wed.)> Next-generation artificial intelligence devices and physics 2022.03.16 2813
375 <Nov. 17(Wed.)>펜로즈의 삼각형과 블랙홀 - 부분과 전체 2021.11.11 4071
374 <Sep. 15(Wed.)> 강화학습 - 시행착오를 통해 배워나가는 인공지능 2021.09.08 5041
373 <Oct. 6(Wed.)> 블랙홀에서 쌍꺼풀수술까지 2021.09.29 5793
372 <Nov. 10(Wed.)>Optical Spectroscopy of 2-Dimensional Materials 2021.11.03 7401
371 <Nov. 3(Wed.)>시공간의 구조: 상대성이론, 특이점, 우주상수 2021.10.28 8905
370 <April 21(Wed.)> 우주배경복사 편광 관측 - 남극점 기지 바이셉/켁 어레이(BICEP/Keck Array) 망원경 2021.04.12 9738
369 <April 28(Wed.)> 손에 잡히는 AI 2021.04.21 10235
368 <Dec.9(Wed.)>한국형 암흑물질 실험 2020.12.02 15257
367 <Oct.14(Wed.)>New Ways to Search for the Dark World 2020.10.12 15678